Минпромторг заключил контракт на 1,5 млрд рублей на разработку установки молекулярно-лучевой эпитаксии с петербургской компанией «НТО» (SemiTEq). Оборудование должно заменить американское и французское оборудование для производства чипов. 

Контракт на 1,5 млрд

Как выяснил CNews, Минпромторг заключил контракт с АО «Научное и технологическое оборудование» (АО «НТО») на разработку установки молекулярно-лучевой эпитаксии для получения гетероструктур на основе InAlGaAs (арсенид индия-алюминия-галлия). Сумма контракта составила 1,475 млрд руб.

Установка молекулярно-лучевой эпитаксии (проект «Цитадель») должна заменить французскую Riber 49 и американскую Veeco GEN200. Прямых отечественных аналогов такого оборудования в России нет.

Работы должны быть завершены до 31 октября 2030 г.

Подробнее о разработке

Оборудование предназначено для эпитаксии - выращивания монокристаллической пленки на подложке.

В данном случае подразумевается получение кристаллических гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида на пластинах диаметром 76 и 100 мм.

«НТО» должен разработать конструкторскую документацию с литерой «О1» и изготовить опытный образец установки молекулярно-лучевой эпитаксии с групповой загрузкой подложек. Установка должна обрабатывать одновременно не менее пяти подложек диаметром 76 мм или трех подложек диаметром 100 мм.

В техническом задании «Цитадели» жестко прописано требование по импортозамещению. Критические комплектующие: вакуумные камеры и насосы, молекулярные источники, запорно-вакуумная арматура, центральный контроллер системы управления, программное обеспечение — должны быть российского производства. Применение иностранных критических комплектующих допускается только при наличии обоснования в техническом проекте и письменного согласования с Минпромторгом.

Кто исполнитель

АО «НТО» (SemiTEq) — российский разработчик специального технологического оборудования для электронной промышленности, основанный в 2001 г.

Компания имеет опыт создания и серийного выпуска установок молекулярно-лучевой эпитаксии для полупроводниковых материалов.

Защищенное облако для ГИС/ИСПДн: ускоренный путь к аттестации без затрат на собственный ЦОД безопасность

В 2025 г. «НТО» разработала производственно-ориентированные установки, ставшие первыми отечественными образцами оборудования для молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках 150 мм. Компания располагает собственной конструкторской и производственной базой, а также прикладной лабораторией.

Согласно базе «Контур.Фокус», АО «НТО» зарегистрировано в апреле 2001 г. Единственным учредителем компании заявлено ООО «Комплектующие и материалы». Юрлицо, в свою очередь, принадлежит Алексею Алексееву (81,2%), Игорю Соколову (15,8%) и Станиславу Петрову (3%).

• В каком ЦОД разместить оборудование Colocation? Найти ответ на ИТ-маркетплейсе CNewsMarket