Специалисты Всероссийского научно-исследовательского института экспериментальной физики (ВНИИЭФ), который является частью «Росатома», начали работу над созданием российского оборудования для изготовления полупроводников. На данные цели Министерство промышленности и торговли Российской Федерации выделило 992,85 миллиона рублей.

Контракт на осуществление научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, получивший наименование «Дантист», был утверждён 6 июля 2026 года. Согласно представленной информации, в тендере принимал участие исключительно ВНИИЭФ. Период реализации проекта — до 30 октября 2029 года.

В процессе реализации проекта специалисты центра создадут две ключевые системы, которые являются неотъемлемыми элементами производства современных микросхем. Первая система представляет собой устройство для временного соединения (бондинга) кремниевых пластин, которое обеспечивает надёжное закрепление пластин на подложке для последующей обработки. Вторая система — это устройство для разделения пластин (дебондинга) и их последующей очистки, которое позволяет аккуратно отделить пластины и удалить остатки клея. Оборудование будет поддерживать работу с наиболее распространенными форматами кремниевых подложек — 100, 150 и 200 мм.

В техническом задании одним из основных требований было обеспечение максимальной независимости от импортных решений. В соответствии с условиями контракта, разрабатываемое оборудование должно быть полностью создано с использованием российских компонентов. Это касается контроллеров, созданных на основе отечественных процессоров, плат управления с российскими микроконтроллерами и программируемыми логическими интегральными схемами (ПЛИС), а также вакуумных систем, механизмов автоматической загрузки и выгрузки пластин и программного обеспечения, разработанного в России.

Данная инициатива соответствует стратегии по обеспечению технологической независимости. Успешное завершение проекта позволит российским предприятиям отказаться от дорогостоящего обслуживания зарубежными специалистами и снизить вероятность остановки производства из-за санкций.