Ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта, сообщили в пресс-службе "Росатом Наука"

МОСКВА, 24 июля. /ТАСС/. Специалисты НПО "ЛУЧ", входящего в научный дивизион госкорпорации "Росатом", создали полную цепочку оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама, сообщили в пресс-службе "Росатом Наука". Вещество используется в микроэлектронике и других особо точных производствах.

"АО "НИИ НПО "ЛУЧ" в сотрудничестве с российскими учеными и отечественными предприятиями создало полную цепочку технологического и аналитического оборудования для производства особо чистого гексафторида вольфрама с его содержанием не менее 99,999 массового процента. В настоящее время ведутся работы по проектированию и строительству первого в России производственного участка для этого продукта", - отметили в преcс-службе.

Как рассказал генеральный директор АО "НИИ НПО "ЛУЧ" Павел Карболин, в настоящее время изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки. Завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. "Наши научные разработки способствуют развитию импортозамещения, позволяют достичь технологического суверенитета страны", - подчеркнул Карболин.

Особо чистый гексафторид вольфрама используется в микроэлектронике, например, при производстве полупроводников для осаждения металлического слоя вольфрама из газовой фазы. Этот слой отличается высокой химической и термостабильностью, низким сопротивлением, и служит защитой для плат и схем. Также гексафторид вольфрама применяется для получения покрытий и изделий из высокочистого вольфрама методами газофазной металлургии (водородное восстановление, химические транспортные реакции).

В работе также участвовали специалисты Нижегородского государственного университета имени Н. И. Лобачевского, компании ООО "Ферри Ватт", Института химии высокочистых веществ имени Г. Г. Девятых РАН, Томского государственного университета. В 2023 - 2024 годах работа проводилась в рамках государственного контракта с Минпромторгом РФ.

АО "НИИ НПО "ЛУЧ" (акционерное общество "Научно-исследовательский институт Научно-производственное объединение "ЛУЧ", входит в научный дивизион госкорпорации "Росатом") решает задачи по разработке и обеспечению атомной промышленности тепловыделяющими элементами и сборками для ядерных энергетических установок, а также создает топливные композиции для твэлов нового поколения.