«Дочка» «Росатома» получит больше миллиарда за установку для контроля производства чипов

Дата публикации: 15-07-2026 13:53:00

Структура «Росатома» разработает установку контроля ионного
легирования для полупроводниковых пластин за 1,35 млрд рублей. Оборудование
должно заменить американские системы KLA-Tencor, которые используются для
контроля ключевого процесса внедрения примесей в чипы.

Основное содержимое страницы с новостью.

«Дочка» «Росатома» получит больше миллиарда за установку для контроля производства чипов

Структура «Росатома» разработает установку контроля ионного легирования для полупроводниковых пластин за 1,35 млрд рублей. Оборудование должно заменить американские системы KLA-Tencor, которые используются для контроля ключевого процесса внедрения примесей в чипы.

Контракт «Росатома»

Как выяснил CNews, АО «НИИ НПО «ЛУЧ» (входит в «Росатом») разработает установку контроля ионного легирования для полупроводниковых пластин.

Контракт на ОКР шифр «Контроль-ИИ» был заключен 3 июля 2026 г. между Минпромторгом и АО «НИИ НПО «ЛУЧ». Сумма контракта составила 1,348 млрд руб. Изначально на работы выделялось 1,376 млрд руб., снижение составило около 27,5 млн руб. (примерно 2%).

В конкурсе участвовали три компании. Помимо победителя, заявки подали еще два участника с ценовыми предложениями 1,29 млрд и 1,376 млрд руб. Однако по итогам оценки заявок по неценовым критериям (опыт и квалификация) «НИИ НПО «ЛУЧ» набрал 77,6 балла из 100, что значительно превысило показатели конкурентов (28,2 и 4 балла).

Что надо разработать

Речь идет об ОКР «Контроль-ИИ» — создании автоматизированной установки контроля процесса ионного легирования в структурах полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм.

Установка должна заменить американское оборудование KLA-Tencor (модели ThermaProbe TP500 и TP630). Эти системы используются для контроля доз легирования — ключевого процесса внедрения примесей в полупроводниковые пластины для создания транзисторов и диодов.

Искусственный интеллект используется для автоматического распознавания топологического рисунка на продуктовых пластинах, построения калибровочных кривых и расчета уровня имплантационной дозы.

Критические комплектующие: оптический стол, источники лазерного излучения, фоточувствительные детекторы, механизмы загрузки и позиционирования должны быть российского производства. Работы по ОКР должны быть выполнены до октября 2029 г.

Чем известен «НИИ НПО «ЛУЧ»

АО «НИИ НПО «ЛУЧ» — научно-исследовательский институт, основанный в 1946 г. в Подольске. Предприятие входит в Научный дивизион госкорпорации «Росатом». Институт является разработчиком и изготовителем тепловыделяющих элементов (твэлов) для ядерных энергетических установок.

Что нужно для автоматизации обслуживания зданий в госсекторе Бизнес

В последние годы предприятие активно участвует в проектах по созданию материалов для микроэлектроники. Институт разрабатывает оснастку из карбида кремния для производства больших и сверхбольших интегральных схем.

В конце июня 2026 г. дочернее предприятие «Росатома» (АО «НИИграфит») стало единственным исполнителем контракта на разработку установки формирования необожженной керамической ленты, которая должна заменить словенское оборудование KEKO. Сумма того контракта составила 257 млн руб. Таким образом, за две недели структуры «Росатома» получили два крупных заказа от Минпромторга на разработку критического оборудования для микроэлектроники на общую сумму более 1,6 млрд руб.

• Подобрать тариф на аварийное восстановление DRaaS на ИТ-маркетплейсе CNewsMarket

Схожие новости

#	Наименование новости	Тональность	Информативность	Дата публикации
1	«Дочка» «Росатома» получит больше миллиарда за установку для контроля производства чипов	0	5	15-07-2026
2	ГЛАВКОСМОС И SITAEL ОБСУДИЛИ ПЕРСПЕКТИВЫ СОТРУДНИЧЕСТВА В ОБЛАСТИ СОЗДАНИЯ И ЗАПУСКА МКА	0	0	20-06-2018
3	EU Agrees to Cut Emissions to Zero by 2050	0	0	15-12-2019
4	Kingdom Come Deliverance 2: Region und Karte wechseln (Zurück nach Trosky)	0	0	21-02-2025
5	Air Force commissions first female Muslim chaplain	0	0	10-01-2020
6	Газета «Поиск» написала о проекте юристов АлтГУ по правовому регулированию научной сферы в России	0	0	27-12-2021
7	Лимнофила ароматика - НАБОРЫ растений для запуска акваса-------	0	0	02-01-2020
8	DOGE notches courtroom wins as Elon Musk crusades to slash federal government	0	0	20-02-2025
9	Зонд Cassini поймал фото странной шестигранной бури на Сатурне	0	0	08-12-2016
10	Эксперимент Филадельфия (5 фотографий)	0	0	01-08-2019

Классификация: Экономика. Схожих патентов: 0. Схожих новостей: 10. Тональность: 0. Информативность: 7. Источник: cnews.ru.