МОСКВА, 26 апреля. /ТАСС/. Резидент особой экономической зоны "Технополис Москва" - Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ - приступил к разработке фоторезистов - литографических материалов, которые применяются в электронной промышленности. Об этом сообщил журналистам руководитель департамента инвестиционной и промышленной политики столицы Владислав Овчинский.

"Более 50% всей продукции, выпускаемой в особой экономической зоне "Технополис Москва", производится в сфере микроэлектроники. В кластер микроэлектроники ОЭЗ Москвы входят свыше 30 резидентов. Среди них - компания "НИИМЭ", которая планирует наладить производство отечественных фоторезистов для электронной промышленности. Такая продукция будет востребована при выпуске интегральных микросхем, их используют в различной современной технике. Потребителями продукции, разработанной компанией, станут российские производители микроэлектроники, в том числе резиденты ОЭЗ "Технополис Москва", - сказал Овчинский.

В пресс-службе департамента пояснили, что фоторезист - это светочувствительный полимерный материал, который наносят на кремниевую пластину в ходе процесса фотолитографии. С его помощью на поверхности обрабатываемой детали формируются выделенные участки - "окна" - для дальнейшего травления или легирования поверхности. Эта технология является основной в производстве интегральных микросхем.

"Компания проведет теоретические и экспериментальные работы, разработает документацию технологического процесса, методики измерений параметров материалов и метрологической экспертизы. Производство этих материалов станет важным шагом на пути достижения технологического суверенитета нашей страны", - подчеркнул генеральный директор ОЭЗ "Технополис Москва" Геннадий Дегтев.

Как отметил заместитель руководителя приоритетного технологического направления "Электронные технологии" компании член-корреспондент РАН Евгений Горнев, у института накоплен большой опыт исследований в области высокочистых материалов. В консорциуме с институтами Российской академии наук по программе импортозамещения резидент ОЭЗ Москвы занимается разработками и анализом высокочистых химических реактивов для отечественной промышленности.

"За последние пять лет были сформированы технологические цепочки исполнителей из научных организаций и организовано проведение работ по созданию задела для разработки материалов для фотолитографии, а в 2021 году создана единственная в России физико-химическая аналитическая лаборатория мирового уровня для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. Сегодня лаборатория участвует во всех опытно-конструкторских работах по созданию химреактивов требуемого качества и методик анализа соответствия качества высокочистых материалов", - добавил Горнев.